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用于计算结构的电磁散射性质和近似结构的重构的方法和设备

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摘要

一种计算结构的电磁散射性质的方法，结构包括不同性质的材料并且结构在至少一个横向方向上是周期性的并在垂直方向上延伸，包括：通过针对在至少一个横向方向上的多个模式中的每个相应模式执行在垂直方向上的伪谱多项式(切比雪夫)展开乘以对于多个模式中的所有模式都使用在正交方向上的相同样本点的1D格林函数的积分(1350)，针对每个模式在数值上求解用于电磁散射的体积分方程。积分通过求解第一(1116)与第二(1120)离散变换步骤之间的方程的正则化线性系统来执行以计算(1118)正则化切比雪夫多项式系数矢量(γ)的值。使用数值求解的结果来计算结构的电磁散射性质。

著录项

公开/公告号CN105814489B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-27

原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
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申请/专利号CN201480057752.X
发明设计人 M·C·范伯登;
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申请日2014-08-08
分类号G03F7/20(20060101);G01N21/95(20060101);G01N21/956(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;吕世磊
地址荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 10:02:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-10-27

授权

授权
2016-08-24

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20140808

实质审查的生效
2016-08-24

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20140808

实质审查的生效
2016-07-27

公开

公开
2016-07-27

公开

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