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一种感应加热金红石单晶体生长炉及其制备金红石方法

摘要

本发明涉及一种感应加热金红石单晶体生长炉及其制备金红石方法,属于单晶体生长领域。解决温度分布难于精确控制,晶体生长界面以下轴向温度梯度较大,晶体中易存在较大的应力的问题,生长炉包括:分为上腔体与下腔体的炉壳,第一加热装置,包括导电陶瓷管置于上腔体内作为加热段,导电陶瓷管为进料口与下腔体的进料通道,导电陶瓷管外套设石英管,石英管外缠绕第一电磁感应线圈;设置在下腔体内生长室,第一加热装置下方设置为生长室的生长区;第二加热装置,包括设置晶体生长区的下方的生长室的保温层内的第二电磁感应线圈形成保温段。本发明可以做到温度的变化更加精确,可以根据需要随时调整晶体生长的温度梯度。

著录项

  • 公开/公告号CN105369342B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-10-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 沈阳工程学院;

    申请/专利号CN201510843576.9

  • 申请日2015-11-25

  • 分类号C30B11/00(20060101);C30B29/16(20060101);

  • 代理机构21241 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈芳

  • 地址 110136 辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号

  • 入库时间 2022-08-23 10:02:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-02

    专利权的转移 IPC(主分类):C30B 11/00 登记生效日:20181012 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-10-31

    授权

    授权

  • 2017-10-31

    授权

    授权

  • 2017-07-11

    著录事项变更 IPC(主分类):C30B11/00 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    著录事项变更

  • 2017-07-11

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B11/00 登记生效日:20170622 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-07-11

    著录事项变更 IPC(主分类):C30B 11/00 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    著录事项变更

  • 2017-07-11

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B 11/00 登记生效日:20170622 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-07-11

    著录事项变更 IPC(主分类):C30B 11/00 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    著录事项变更

  • 2017-07-11

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B 11/00 登记生效日:20170622 变更前: 变更后: 申请日:20151125

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-03-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/00 申请日:20151125

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 11/00 申请日:20151125

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 11/00 申请日:20151125

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 11/00 申请日:20151125

    实质审查的生效

  • 2016-03-02

    公开

    公开

  • 2016-03-02

    公开

    公开

  • 2016-03-02

    公开

    公开

  • 2016-03-02

    公开

    公开

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