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喷涂用Mo粉末及采用它的Mo喷涂膜以及Mo喷涂膜部件

摘要

本发明提供操作性良好,成膜性优良的喷涂用Mo粉末。本发明的喷涂用Mo粉末,其是在一次粒子的平均粒径为1μm以上、10μm以下,二次粒子的平均粒径为20μm以上、200μm以下的喷涂用Mo粉末中,含有具有长宽比1.0~1.5的二次粒子的比例在80质量%以上、100质量%以下。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-15

    授权

    授权

  • 2014-06-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C4/08 申请日:20121019

    实质审查的生效

  • 2014-05-07

    公开

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