公开/公告号CN105136749B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江全世科技有限公司;
申请/专利号CN201510514458.3
申请日2015-08-20
分类号G01N21/62(20060101);
代理机构31236 上海汉声知识产权代理有限公司;
代理人胡晶
地址 310053 浙江省杭州市滨江区六和路368号一幢(北)三楼B3155室
入库时间 2022-08-23 10:05:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-01
专利权的转移 IPC(主分类):G01N21/62 登记生效日:20190115 变更前: 变更后: 申请日:20150820
专利申请权、专利权的转移
2017-12-22
授权
授权
2016-12-21
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N21/62 登记生效日:20161130 变更前: 变更后: 申请日:20150820
专利申请权、专利权的转移
2016-01-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/62 申请日:20150820
实质审查的生效
2015-12-09
公开
公开
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 一种高度开发的原子发射光谱仪,它使用氩气节省气体通过光腔(OC)和火花腔(SC)进行具有良好喷射效果的氩气节省。这导致对每个氩气瓶可以完成的分析数量显着增加,从而显着节省了成本
机译: 一种高度开发的原子发射光谱仪,它使用氩气节省气体通过光学腔(OC)和火花腔(SC)进行具有良好散点的氩气节省。这导致对每个氩气瓶可以完成的分析数量显着增加,从而显着节省了成本