法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-29
授权
授权
2015-12-16
实质审查的生效 IPC(主分类):B22F9/24 申请日:20150727
实质审查的生效
2015-11-18
公开
公开
机译: 包括具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单分子层的光学元件的EUV光刻投影设备,应用自组装单分子层的方法和器件制造方法
机译: 具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单分子层的光学元件的EUV光刻投影装置,应用自组装单分子层的方法,装置制造方法和装置
机译: 新型杯形冠衍生物,其生产方法,由该方法生产的自组装单分子层以及使用自组装单分子层固定蛋白质单分子层的方法