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一种基于炭化的超级电容器三维微电极的制备方法

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本发明涉及微机电系统技术领域，具体为一种基于炭化的超级电容器三维微电极的制备方法，包括以下步骤：（1）硅片清洗烘干；（2）然后在硅片表面均匀旋涂SU‑8光刻胶；（3）将光刻胶进行光刻工艺处理，得到阵列结构；（4）将光刻好的阵列结构放入马弗炉中进行炭化，得到SU‑8胶炭化电极。该方法首先从工艺设计的角度出发，利用增加介孔数量和质量增大电极阵列结构的比表面积，该方法简单可行、易操作。其次，利用炭化技术，不仅可以增强电极的稳定性，而且可以提高导电性能，为后续的集成、封装和利用奠定了的基础。最后，该工艺精度高、设备投资成本低、产能大，能够满足市场大规模生产需求。

著录项

公开/公告号CN104681297B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-19

原文格式PDF
申请/专利权人太原理工大学;
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申请/专利号CN201510122130.7
发明设计人李刚;赵清华;胡杰;李朋伟;张文栋;李大维;桑胜波;菅傲群;段倩倩;
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申请日2015-03-20
分类号
代理机构太原科卫专利事务所(普通合伙);
代理人朱源
地址 030024 山西省太原市迎泽西大街79号
入库时间 2022-08-23 10:06:21

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-01-19

授权

授权
2015-07-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01G11/34 申请日:20150320

实质审查的生效
2015-06-03

公开

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