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测量仪校准法、测量仪及用于该测量仪并执行所述方法的校准装置

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本发明涉及一种测量仪校准方法和装置，它具有至少两个相对运动的分系统(K；M)、在至少一个分系统的至少一个探测部分(A)上具有产生至少一个第一分系统(K)的图象的装置。本发明在建立一个数学模型之后推导出至少一个参数组，它将对测量仪的系统测量误差的影响因素量化，其中至少一个参数来自数学模型。之后，在第二分系统(M)上产生第一分系统(K)的结构要素(S)的图象，所述结构要素确定了一个分系统的相对位置。第一分系统(K)的结构要素(S)的图象通过探测部分(A)转换成信号，且至少一个信号矢量被记录下来。从参数组的估算值中推导出修正值并使之可用，这些修正值减小了测量仪的系统测量误差。

著录项

公开/公告号CN1271390C

专利类型发明授权
公开/公告日2006-08-23

原文格式PDF
申请/专利权人莱卡地球系统公开股份有限公司;
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申请/专利号CN02807582.X
发明设计人于尔格·威隆曼;
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申请日2002-03-27
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人党晓林
地址瑞士海尔博瑞格
入库时间 2022-08-23 08:58:58

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-19

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01D 5/244 授权公告日:20060823 终止日期:20180327 申请日:20020327

专利权的终止
2006-08-23

授权

授权
2006-08-23

授权

授权
2004-08-04

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-08-04

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-05-26

公开

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2004-05-26

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