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改性羟基萘酚醛清漆树脂、改性羟基萘酚醛清漆树脂的制造方法、感光性组合物、抗蚀材料及涂膜

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本发明的目的在于提供光灵敏度、分辨率、碱显影性高且耐热性、耐吸湿性也优异的、适于感光性组合物和抗蚀材料的改性羟基萘酚醛清漆树脂，提供一种改性羟基萘酚醛清漆树脂，其以下述结构式(1)所示的结构部位(I)(式中，R

著录项

公开/公告号CN105555820B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-29

原文格式PDF
申请/专利权人 DIC株式会社;
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申请/专利号CN201480051789.1
发明设计人今田知之;佐藤勇介;
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申请日2014-09-11
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:12:53

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-29

授权

授权
2016-06-01

实质审查的生效 IPC(主分类):C08G8/28 申请日:20140911

实质审查的生效
2016-05-04

公开

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