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复合基板、其制造方法、13族元素氮化物构成的功能层的制造方法以及功能元件

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一种复合基板10，包含蓝宝石基板1A、设置于蓝宝石基板表面的氮化镓晶体构成的晶种膜4、以及在该晶种膜4上结晶生长的厚度200μm以下的氮化镓晶体层7。蓝宝石基板1A与晶种膜4的界面设置有空隙5，该空隙比率为4.5～12.5％。

著录项

公开/公告号CN103814160B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-14

原文格式PDF
申请/专利权人日本碍子株式会社;
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申请/专利号CN201380001900.1
发明设计人仓冈义孝;岩井真;
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申请日2013-07-19
分类号
代理机构上海市华诚律师事务所;
代理人李晓
地址日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号
入库时间 2022-08-23 10:17:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-09-14

授权

授权
2014-06-25

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/38 申请日:20130719

实质审查的生效
2014-06-25

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/38 申请日:20130719

实质审查的生效
2014-05-21

公开

公开
2014-05-21

公开

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1. 复合基板、其制造方法、13族元素氮化物构成的功能层的制造方法以及功能元件 [P] . 中国专利： CN103814160B . 2018.09.14
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