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平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路及自测试方法

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本发明提供一种平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路，以及一种自测试方法，对平行板电容加速度计提供电激励，将电容传感模块输出的信号进行放大，模数转换和数字处理，根据不同条件下的自测试供电电压V1和V2以及电容传感模块的输出响应Vc分析其灵敏度S，从而实现对平行板电容型MEMS加速度计的工艺缺陷进行诊断并且对电容加速度计的灵敏度S进行内建自测试。优化了外部环境和寄生电容对输出信号的影响，提高测试的标准化程度、降低对复杂测试仪器的依赖度，从而有效降低其测试与产品成本。

著录项

公开/公告号CN105823907B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-16

原文格式PDF
申请/专利权人江苏物联网研究发展中心;
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申请/专利号CN201610161273.3
发明设计人余丹;李佳;
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申请日2016-03-21
分类号G01P15/125(20060101);G01P21/00(20060101);
代理机构32104 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙);
代理人殷红梅;屠志力
地址 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座
入库时间 2022-08-23 10:30:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-04-16

授权

授权
2016-08-31

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/125 申请日:20160321

实质审查的生效
2016-08-31

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/125 申请日:20160321

实质审查的生效
2016-08-03

公开

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2016-08-03

公开

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1. 平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路及自测试方法 [P] . 中国专利： CN105823907B . 2019.04.16
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