公开/公告号CN105150089B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-28
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市中天超硬工具股份有限公司;
申请/专利号CN201510501299.3
申请日2015-08-14
分类号
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人余哲玮
地址 518100 广东省深圳市宝安区新安67区留仙一路甲岸科技园2号厂房1-2楼
入库时间 2022-08-23 10:34:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-28
授权
授权
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/04 申请日:20150814
实质审查的生效
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20150814
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
2015-12-16
公开
公开
机译: 用于控制金刚石研磨机中的研磨表面和金刚石之间的运动和力的装置
机译: 研磨垫表面形状测定装置,研磨垫表面形状测定装置的使用方法,研磨垫的锥顶角的测定方法,研磨垫的槽深的测定方法,CMP研磨装置及其制造方法半导体器件
机译: 研磨垫表面形状测定装置,研磨垫表面形状测定装置的使用,研磨垫的锥顶角的测定方法,研磨垫的槽深度测定方法,CMP研磨装置及其制造方法半导体器件