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通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法

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一种通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法，通过将单光束点扫描光刻或者成像系统中的扩束镜替换为电动可调倍率扩束镜，进而根据相关计算公式，调节扩束比例来实现聚焦光斑直径的连续可调。本发明可以在单光束点扫描光刻或者成像系统中提供直径连续可调的光斑，快速、简便地实现跨尺度的光刻和多分辨率光学成像。

著录项

公开/公告号CN108681214B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-13

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN201810489193.X
发明设计人魏劲松;丁晨良;王正伟;
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申请日2018-05-21
分类号G03F7/20(20060101);G02B27/09(20060101);
代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2022-08-23 10:38:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-08-13

授权

授权
2018-11-13

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180521

实质审查的生效
2018-11-13

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180521

实质审查的生效
2018-10-19

公开

公开
2018-10-19

公开

公开
2018-10-19

公开

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1. 通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法 [P] . 中国专利： CN108681214B . 2019.08.13
2. 通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法 [P] . 中国专利： CN108681214A . 2018-10-19
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4. Method and apparatus for changing the imaging scale in X-ray lithograph [P] . 日本专利： JPH03504286A . 1991-09-19

机译： X射线光刻机中改变成像比例的方法和装置
5. Method and apparatus for changing the imaging scale in X-ray lithograph [P] . 美国专利： US4887282A . 1989-12-12

机译： X射线光刻机中改变成像比例的方法和装置