法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-20
授权
授权
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20180502
实质审查的生效
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20180502
实质审查的生效
2018-09-28
公开
公开
2018-09-28
公开
公开
2018-09-28
公开
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机译: 基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置及方法
机译: 用于聚焦激光束的光学装置,包括:具有第一平面镜的光学模块,该第一平面镜接收激光束并将光束反射在光学元件上;以及铰接的光学模块,其具有两个重叠的部分
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