摘要:在软X-射线光学,强光光学及高强度高功率激光系统中光学元器件表面的微轮廓粗糙度要求在纳米和亚纳米量级。为了对如此高精度表面进行计量,作者在文中提出使用扫描探针显微镜(SPM)方法,包括对金属导体样品使用的扫描隧道显微镜(STM)和对非金属表面使用的原子力显微镜(AFM)。文中介绍了这类显微镜的基本原理,以及测量得出的二维、三维真实微轮廓图,剖面轮廓图,功率谱等参数。说明,在沿表面和垂直表面方向纳米、亚纳米测量精度对描述光学及超光滑表面具有重要意义。文章指出,目前光学表面完全沿用机械加工表面粗糙度表示方法和计量标准,已不能适应近代光学系统及另件加工的要求。制订纳米、亚纳米表面轮廓计量的标准和计量检定方法,规程及相应的仪器设备,是超高精度光学系统设计加工中的急迫课题。