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压电薄膜、压电薄膜元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器以及喷墨打印头

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本发明的目的在于提供一种能够抑制加工过程中的损害的压电薄膜、以及具备所述压电薄膜的具有高可靠性的压电薄膜元件。在将(K,Na)NbO

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公开/公告号CN106972097B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12

原文格式PDF
申请/专利权人 TDK株式会社;
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申请/专利号CN201610852628.3
发明设计人广瀬维子;大槻史朗;
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申请日2016-09-26
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人杨琦
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:43:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-12

授权

授权
2017-08-15

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/09 申请日:20160926

实质审查的生效
2017-08-15

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/09 申请日:20160926

实质审查的生效
2017-07-21

公开

公开
2017-07-21

公开

公开
2017-07-21

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