法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
授权
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2018-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 99/00 申请日:20171216
实质审查的生效
2018-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 99/00 申请日:20171216
实质审查的生效
2018-06-29
公开
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2018-06-29
公开
公开
2018-06-29
公开
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机译: 基于微机械加工的压电三轴陀螺仪和基于堆叠式横向重叠换能器(槽)的三轴加速度计
机译: 基于微机械加工的压电三轴陀螺仪和基于堆叠式横向重叠传感器(槽)的三轴加速度计
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