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热分解氮化硼容器的制造方法及热分解氮化硼容器

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本发明提供一种热分解氮化硼容器及其制造方法，所述热分解氮化硼容器不易于产生脱膜、剥离等，且最适于培养单晶。为此，本发明提供一种热分解氮化硼容器的制造方法以及热分解氮化硼容器，所述热分解氮化硼容器的制造方法，是制造热分解氮化硼容器的方法，其由以下步骤构成：使用热化学气相沉积法，将热分解氮化硼成膜于碳制的容器模具材料上；通过将所述成膜物从所述容器模具材料卸下，来获得容器形状的成型体；通过氧化处理所述容器形状的成型体，来去除源自所述容器模具材料并附着于表面上的碳；之后，对所述容器形状的成型体，从与模具材料相接侧的面实施薄化处理，形成一容器。

著录项

公开/公告号CN106245000B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-13

原文格式PDF
申请/专利权人信越化学工业株式会社;
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申请/专利号CN201610405107.3
发明设计人狩野正树;
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申请日2016-06-08
分类号
代理机构隆天知识产权代理有限公司;
代理人李英艳
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:46:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-13

授权

授权
2018-04-06

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/34 申请日:20160608

实质审查的生效
2018-04-06

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20160608

实质审查的生效
2016-12-21

公开

公开
2016-12-21

公开

公开
2016-12-21

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