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用于晶体生长的热分解氮化硼容器和使用该容器的半导体晶体生长方法

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摘要

披露了一种热分解氮化硼容器，即使当所述热分解氮化硼容器的直径增大时，所述热分解氮化硼容器的横截面形状仍可保持为正圆，并且所述热分解氮化硼容器不易通过重复使用而变形。本发明的热分解氮化硼容器是用于晶体生长方法的热分解氮化硼容器，在所述方法中从所述容器的底部向着所述容器的开口固化容纳于纵向容器中的原料熔液。所述热分解氮化硼容器包括直径恒定部分，其横截面面积基本恒定，和台阶部分，其被配置在离开所述开口的预定位置处，并且所述容器的内径或外径在所述台阶部分改变。当面积与所述直径恒定部分的内横截面面积相同的正圆的直径为D，并且从所述开口到所述台阶部分的上端的距离为x时，满足D≥54mm和x≥5mm。当从所述直径恒定部分的下端到所述开口的长度为L时，优选地，满足5mm≤x≤L/3或5mm≤x≤D。

著录项

公开/公告号CN102906314B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-30

原文格式PDF
申请/专利权人住友电气工业株式会社;
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申请/专利号CN201180025287.8
发明设计人川濑智博;藤井俊辅;羽木良明;金子秀一;高山英俊;
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申请日2011-05-20
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人王伟
地址日本大阪府大阪市
入库时间 2022-08-23 09:30:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-09-30

授权

授权
2013-03-13

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/00 申请日:20110520

实质审查的生效
2013-01-30

公开

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