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化学气相沉积过程中的介观尺度温区温度稳定方法

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摘要

本发明公开了一种化学气相沉积过程中的介观尺度温区温度稳定方法。它包括承载衬底的坩埚放入化学气相沉积装置中，通入反应气体，特征是，在承载衬底的坩埚上覆盖金属网。所述金属网尺寸与坩埚尺寸相同，网格的尺寸是0.1-1mm。金属网的材料不与气相物质和沉积物质发生化学反应。金属网的材料熔点高于化学气相的熔点，本发明有效消除了化学气相沉积过程中介观生长区域内各处温度分布的不均匀性，保证了沉积基底上介观区域内材料生长的温度一致性。尤其对纳米材料的可控均匀生长提供了有效途径。

著录项

  • 公开/公告号CN100376717C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-03-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;

    申请/专利号CN200610049615.9

  • 发明设计人 沙健;何铭;

    申请日2006-02-27

  • 分类号C23C16/52(20060101);

  • 代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;

  • 代理人张法高

  • 地址 310027 浙江省杭州市浙大路38号

  • 入库时间 2022-08-23 09:00:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-06-23

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/52 授权公告日:20080326 申请日:20060227

    专利权的终止

  • 2008-03-26

    授权

    授权

  • 2006-10-04

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-08-09

    公开

    公开

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