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使用193nm激光器的固态激光器及检验系统

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本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。

著录项

公开/公告号CN107887778B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-07

原文格式PDF
申请/专利权人科磊股份有限公司;
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申请/专利号CN201711145150.1
发明设计人勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;约翰·费尔登;
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申请日2013-05-17
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:47:43

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-01-07

授权

授权
2018-05-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/00 申请日:20130517

实质审查的生效
2018-05-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/00 申请日:20130517

实质审查的生效
2018-04-06

公开

公开
2018-04-06

公开

公开
2018-04-06

公开

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