首页> 中国专利> 基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器

基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明属于微电子器件领域，提出了一种基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器，包括硅衬底，硅衬底上表面淀积绝缘层，绝缘层上表面沉积布拉格反射层，布拉格反射层上表面淀积有底电极，AlN压电薄膜设置在底电极和布拉格反射层上方，AlN压电薄膜上表面设置有与底电极形状相同、位置对应的顶电极，压电薄膜上表面还设置有淀积4个微压力敏感层，微压力敏感层对称设置在压电薄膜的边缘处，且与顶电极错位设置，微压力敏感层上键合微压力施加层。本发明具有高Q值和高工作频率的优点，同时还具有高分辨率、高灵敏度、低能耗、高牢固性、低成本的特点，可以广泛应用于微压力传感器领域。

著录项

公开/公告号CN107525610B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-07

原文格式PDF
申请/专利权人中北大学;
展开▼

申请/专利号CN201710678976.8
发明设计人马晓鑫;苏淑靖;耿子惠;熊继军;谭秋林;
展开▼

申请日2017-08-10
分类号
代理机构太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人任林芳
地址 030051 山西省太原市学院路3号
入库时间 2022-08-23 10:50:14

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-07

授权

授权
2018-01-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/10 申请日:20170810

实质审查的生效
2018-01-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/10 申请日:20170810

实质审查的生效
2017-12-29

公开

公开
2017-12-29

公开

公开
2017-12-29

公开

公开

查看全部

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器 [P] . 中国专利： CN107525610B . 2020.02.07
2. 一种基于侧向场激励剪切波模式的FBAR微压力传感器 [P] . 中国专利： CN107192481A . 2017-09-22
3. THE METHOD OF FBAR AND FBAR BAND PASS FILTER FABRICATION USING THE PREFERRED ORIENTATION OF PIEZO LAYER BASED ON HELPED SEED. [P] . 韩国专利： KR100541596B1 . 2006-01-11

机译： FBAR和FBAR带通滤光片的制造方法是利用基于帮助种子的压电层的优选方向来进行的。
4. THIN LAYER BULK ACOUSTIC RESONATOR CAPABLE OF ENHANCING THE FREQUENCY CHARACTERISTIC OF FBAR BY DIFFERENTLY FORMING THE THICKNESS OF A PIEZOELECTRIC LAYER COMPRISING THE FBAR ACCORDING TO AREA AND A MANUFACTURING METHOD THEREOF [P] . 韩国专利： KR20100077346A . 2010-07-08

机译：薄层体声谐振器，能够通过根据区域不同地构成包含FBAR的压电层的厚度及其制造方法来增强FBAR的频率特性
5. Vibrating exciter for dynamically exciting a test sample in the excitation direction has a magnetic field extending in the excitation direction over a length which is larger than the extension of a moving coil in the excitation direction [P] . 德国专利： DE102005048956A1 . 2007-04-26

机译：用于沿激励方向动态激励试样的振动激励器具有在激励方向上延伸的磁场，该磁场的长度大于动圈在激励方向上的延伸。