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具有双热电子源的离子源及其热电子产生方法

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本发明公开一种具有双热电子源的离子源及其热电子产生方法，该方法主要调降提供予一电弧室本体的电弧电源的电压，使该电压落在20V至45V电压范围之间，令热电子及离子通过该本体分别与该第一及第二热电子源之间的加速电场后的能量减弱；其中低能量的离子对各该第一及第二热电子源造成的喷溅效应可较和缓，以延长了各该第一及第二热电子源的使用寿命，而低能量的热电子则可避免热电子多次撞击已离子化的离子，有效减少不必要的二价或三价带正电的离子，相对提高离子束(萃取电流)中所需要离子的比例。

著录项

公开/公告号CN107633992B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-28

原文格式PDF
申请/专利权人晨硕国际有限公司;
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申请/专利号CN201710500979.2
发明设计人粘俊能;
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申请日2017-06-27
分类号H01J37/08(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人梁挥;祁建国
地址中国台湾新竹市
入库时间 2022-08-23 11:06:42

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-28

授权

授权
2019-11-19

专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J37/08 登记生效日:20191030 变更前: 变更后: 申请日:20170627

专利申请权、专利权的转移
2018-02-23

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/08 申请日:20170627

实质审查的生效
2018-01-26

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