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一种微透镜阵列的集成非平面紫外光电探测器

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本发明公开了一种微透镜阵列的集成非平面紫外光电探测器，包括金属电极、微透镜阵列及半导体材料基底；微透镜阵列设置于半导体材料基底上；金属电极对称地制作在微透镜阵列中每一个微透镜的两边缘上使得微透镜中间球面部分作为光照区域，边缘部分被金属电极覆盖。本发明通过集成微透镜阵列可以提高感光区面积，同时可以在半导体内部将入射光汇聚而提高单位体积内的光强，增加光生载流子密度以及光增益系数。这种非平面紫外光电探测器的电极结构相比于传统平面电极，具有更强的载流子捕获能力。此外，本发明的紫外光电探测器的结构简单，易实现大规模生产。

著录项

公开/公告号CN107331672B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-18

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201710423435.0
发明设计人王宏兴;朱天飞;刘宗琛;刘璋成;王玮;问峰;卜忍安;张景文;侯洵;
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申请日2017-06-07
分类号
代理机构西安通大专利代理有限责任公司;
代理人陆万寿
地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 11:09:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-18

授权

授权
2017-12-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/144 申请日:20170607

实质审查的生效
2017-11-07

公开

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1. 一种微透镜阵列的集成非平面紫外光电探测器 [P] . 中国专利： CN107331672B . 2020.08.18
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