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具有可变鳍片间距的垂直传输FINFET装置

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本发明涉及具有可变鳍片间距的垂直传输FINFET装置，其中，一种半导体装置包括以局部可变的鳍片间距布置的多个垂直传输鳍式场效应晶体管。在该装置的第一区域内，多个第一鳍片以第一间距(d1)布置，且在该装置的第二区域内，多个第二鳍片以小于该第一间距的第二间距(d2)布置。该多个第二鳍片共享合并的源、漏及栅区，而该多个第一鳍片的源、漏及栅区未合并。

著录项

公开/公告号CN107591400B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-18

原文格式PDF
申请/专利权人格罗方德半导体公司;
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申请/专利号CN201710550344.3
发明设计人布兰特·安德森;爱德华·J·诺瓦克;
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申请日2017-07-07
分类号
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟
地址英属开曼群岛大开曼岛
入库时间 2022-08-23 11:09:43

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-18

授权

授权
2018-02-09

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/088 申请日:20170707

实质审查的生效
2018-01-16

公开

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