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等离子体处理容器的再生方法、等离子体处理容器内部部件、等离子体处理容器内部部件的制造方法以及等离子体处理装置

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摘要

在用氧化铝、稀土族氧化物、聚酰亚胺或聚苯并咪唑中任一种喷镀膜覆盖基材表面的等离子体处理容器内部部件的、随着在等离子体中使用而劣化的喷镀膜上，再喷镀与上述喷镀膜同样的材料。由此，能够使因在等离子体中的使用而表面产生劣化的等离子体处理容器再生得如同新品一样。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 4/00 授权公告日:20080507 终止日期:20171207 申请日:20011207

专利权的终止
2008-05-07

授权

授权
2008-05-07

授权

授权
2004-05-12

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-05-12

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-03-03

公开

公开
2004-03-03

公开

公开

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1. 等离子体处理容器的再生方法、等离子体处理容器内部部件、等离子体处理容器内部部件的制造方法以及等离子体处理装置 [P] . 中国专利： CN100386467C . 2008.05.07
2. 等离子体处理容器内部件和有该部件的等离子体处理装置 [P] . 中国专利： CN1314826C . 2007.05.09
3. Method for regenerating container for plasma treatment, member inside container for plasma treatment, method for preparing member inside container for plasma treatment, and apparatus for plasma treatment [P] . 美国专利： US2004081746A1 . 2004-04-29

机译：等离子体处理容器的再生方法，等离子体处理容器内部的部件，等离子体处理容器内部的部件的制备方法以及等离子体处理装置
4. PLASMA TREATMENT CONTAINER INTERNAL MEMBER, AND PLASMA TREATMENT APPARATUS HAVING THE PLASMA TREATMENT CONTAINER INTERNAL MEMBER [P] . 韩国专利： KR100572907B1 . 2006-04-24

机译：等离子体处理容器的内部构件，以及具有等离子体处理容器的内部构件的等离子体处理装置
5. PLASMA TREATMENT CONTAINER INTERNAL MEMBER, AND PLASMA TREATMENT DEVICE HAVING THE PLASMA TREATMENT CONTAINER INTERNAL MEMBER [P] . 韩国专利： KR20040007592A . 2004-01-24

机译：等离子体处理容器的内部成员，以及具有等离子体处理容器的内部成员的等离子体处理装置