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MEMS设备、声换能器、形成MEMS设备的方法以及操作MEMS设备的方法

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摘要

公开了电容式MEMS设备、电容式MEMS声换能器、用于形成电容式MEMS设备的方法以及操作电容式MEMS设备的方法。在实施例中，电容式MEMS设备包括：第一电极结构，包括第一导电层；以及第二电极结构，包括第二导电层，其中所述第二导电层至少部分地与第一导电层相对，并且其中第一导电层包括在第二导电层的至少三个部分之间提供电隔离的多分段。

著录项

  • 公开/公告号CN108540911B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;

    申请/专利号CN201810171550.8

  • 发明设计人 A·德厄;

    申请日2018-03-01

  • 分类号H04R19/04(20060101);H04R31/00(20060101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人郑立柱;张昊

  • 地址 德国诺伊比贝尔格

  • 入库时间 2022-08-23 11:13:27

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