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一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及制备方法

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本发明提供了一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及方法，布拉格反射镜包括衬底，衬底表面设有S个薄膜周期结构，S为整数且S≥1；薄膜周期结构包括BN低折射率层和设置在BN低折射率层上的BAlN高折射率层；制备布拉格反射镜的方法：(1)将干净衬底放入腔室内加热；(2)只开启BN靶材电源，在衬底表面溅射一层BN薄膜；(3)保持BN靶材电源功率不变，开启Al靶材电源，溅射一层BAlN薄膜；(4)S＞1时，重复步骤(2)、(3)，实现具有多个薄膜周期结构的布拉格反射镜的制备。制备方法简单，薄膜平整度高，可以制备多个薄膜周期结构的布拉格反射镜，并且可以实现大面积产业化制备。

著录项

公开/公告号CN110221369B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-27

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201910562431.X
发明设计人李强;张启凡;秦潇;云峰;
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申请日2019-06-26
分类号G02B5/08(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人田洲
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 11:18:56

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