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一种测试多元合金中不同相组成微区成分的定量分析方法

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本发明属于金属材料检测技术领域，涉及一种测试多元合金中不同相组成微区成分的定量分析方法。本发明在多元合金的金属块状试样上，结合蒙特卡洛模拟评估电子与多元合金金属的相互作用区域、对扫描电镜中能谱样品进行精细制备、控制微区能谱测试方法及进行后期数据处理，获得多元合金金属材料中不同相组成的较高精度微区成分测试结果。该方法的优势在于：使用扫描电镜中的能谱进行测试相比于其它测试手段更加方便和低成本，通过前期蒙特卡洛模拟、待测样品精细化制备、能谱测试参数设定以及后期数据处理修正可以明显提升微区成分的测试精度，并且对于多相组成的多元合金，这种测试方法具有普遍适用性。

著录项

公开/公告号CN108414559B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-29

原文格式PDF
申请/专利权人中国航发北京航空材料研究院;
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申请/专利号CN201810340519.2
发明设计人张明达;曹京霞;沙爱学;黄旭;
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申请日2018-04-16
分类号G01N23/225(20180101);G01N23/2252(20180101);
代理机构11008 中国航空专利中心;
代理人李建英
地址 100095 北京市海淀区北京市81号信箱科技发展部
入库时间 2022-08-23 11:27:01

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