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基于点衍射波的干涉测量系统的系统误差标定装置和方法

摘要

本发明涉及一种基于点衍射波的干涉测量系统的系统误差标定装置和方法,该方法引入点衍射波面对整个干涉系统进行标定,实现包括参考面误差在内的整个系统误差标定。通过将干涉系统中分光镜反射的一束光经过聚焦耦合到一根光纤中,然后将光纤的另一端面放置在参考球面镜后焦点位置(猫眼)附近约几微米处,光纤点衍射的发散球面波经标准球面镜准直后进入干涉系统与标准球面镜参考面反射回的波面形成干涉,通过CCD采集多帧相移干涉条纹,进而通过相移算法恢复出相位结果作为系统误差形成标定文件。本方法针对高精度干涉测量系统误差的标定提供了新的解决方法,利用点衍射生成的高精度波前来标定参考面及干涉系统误差,具有操作方便,精度高的优点。

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