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质量管理系统、质量管理方法及批次单位的晶片处理方法

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摘要

一种质量管理系统，具备：存储过去批次的QC实测值的QC值存储部；获取对象批次的处理装置的装置内部信息的数据获取装置；存储装置内部信息的装置内部信息存储部；存储根据晶片内的取样密度分布分类的多个处方的处方存储部；QC值预测单元，根据装置内部信息和过去批次的QC实测值，预测对象批次的QC预测值；晶片确定单元，根据QC预测值确定构成对象批次的多个晶片中成为测定对象的样品晶片；处方选择单元，根据QC预测值，从多个处方中选择适用于样品晶片的适用处方；以及测定装置，使用适用处方对样品晶片进行QC测定，把测定结果存储在QC值存储部中。

著录项

公开/公告号CN100424599C

专利类型发明授权
公开/公告日2008-10-08

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社东芝;
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申请/专利号CN200610066598.X
发明设计人小川章;牛久幸广;井野知巳;
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申请日2006-04-03
分类号G05B19/04(20060101);G05B19/418(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人李峥;杨晓光
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:01:21

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-08-04

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05B 19/04 授权公告日:20081008 申请日:20060403

专利权的终止
2008-10-08

授权

授权
2006-12-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-10-18

公开

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