法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20081105 终止日期:20140924 申请日:20030924
专利权的终止
2008-11-05
授权
授权
2006-04-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-01
公开
公开
机译: 用户界面,用于量化晶圆不均匀度并以图形方式探索重要性
机译: 用户界面,用于量化晶圆不均匀度并以图形方式探索重要性
机译: 用户界面,用于量化晶圆不均匀性并以图形方式表示意义