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一种极性MgO有序薄膜的制备方法

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本发明公开了一种极性MgO有序超薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：首先使镁源在抽成真空的真空室内蒸发并沉积在衬底表面，当衬底表面上沉积一个原子层厚的镁层后，向真空室内通入氧气并将衬底温度从室温升高至400℃，待衬底温度稳定后停止通氧，使衬底自然冷却至室温，再依次重复上述两过程交替在衬底表面沉积镁层、氧层。本发明方法在室温下优先沉积一个单原子层的镁层，可以有效地阻止氧与衬底的直接相互作用破坏衬底的晶格对称性，而镁原子层与氧原子层的交替沉积，避免了在热力学平衡作用下(100)面与(111)面的竞争生长，有利于Mg与O的结合，并沿具有六角对称的(111)方向取向生长。

著录项

公开/公告号CN100422085C

专利类型发明授权
公开/公告日2008-10-01

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院物理研究所;
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申请/专利号CN200610144107.9
发明设计人郭沁林;薛名山;
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申请日2006-11-27
分类号C01F5/04(20060101);
代理机构11003 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司;
代理人尹振启
地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-23 09:01:23

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-01-23

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01F 5/04 授权公告日:20081001 终止日期:20111127 申请日:20061127

专利权的终止
2008-10-01

授权

授权
2007-07-04

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-05-09

公开

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