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内窥镜用光学单元的制造方法,内窥镜用光学单元和内窥镜

摘要

本发明的内窥镜用光学单元的制造方法包括:将分别包括多个光学元件(10~50)的多个光学元件晶圆(10W~50W)层叠来制备接合晶圆(60W)的工序,沿用于进行切单的切割线(CL)在接合晶圆(60W)上形成槽(T90)的槽形成工序,和以比槽(T90)的宽度窄的切割余量切割接合晶圆(60W)来进行切单的切割工序,该制造方法还包括在槽(T90)中设置加强部件(70)的工序。

著录项

  • 公开/公告号CN109310268B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥林巴斯株式会社;

    申请/专利号CN201680086041.4

  • 申请日2016-05-24

  • 分类号A61B1/00(20060101);A61B1/04(20060101);A61B1/05(20060101);G02B7/02(20210101);G02B23/26(20060101);G02B23/24(20060101);H01L27/14(20060101);H04N5/225(20060101);

  • 代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人龙淳;牛孝灵

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 11:46:49

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