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一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器

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本发明涉及加速度传感器技术领域，且公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，包括上盒体和下盒体，上盒体靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有上包边，下盒体靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有下包边，上包边和下包边通过四个均匀分布的卡位机构相连接，且上包边和下包边相抵；卡位机构包括卡位柱、卡位孔、卡位槽、弹簧和卡位块，卡位柱固定连接在下包边的上端，卡位孔开设在上包边上。该用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，能够解决目前传感器整体通过卡合方式进行连接，连接的十分紧固，在野外测量当传感器损坏需要维护时，在缺乏工具的情况下难以将其拆开的问题。

著录项

公开/公告号CN110470862B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-02

原文格式PDF
申请/专利权人扬州华测光电技术有限公司;
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申请/专利号CN201910756020.4
发明设计人井后升;
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申请日2019-08-16
分类号G01P15/125(20060101);G01P1/02(20060101);
代理机构11616 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司;
代理人赵芳蕾
地址 225100 江苏省扬州市邗江区槐泗镇酒甸村管安庄组1号
入库时间 2022-08-23 12:03:51

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外文文献

1. 一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器 [P] . 中国专利： CN110470862B . 2021.07.02
2. 一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器 [P] . 中国专利： CN110470862A . 2019-11-19
3. Micro-mechanical capacitive acceleration sensor for measuring the acceleration of an object in one or more directions is made from a monolithic silicon crystal and is smaller and less sensitive to interference than existing art [P] . 德国专利： DE10117630A1 . 2002-10-17

机译：用于测量物体在一个或多个方向上的加速度的微机械电容式加速度传感器由整体式硅晶体制成，并且比现有技术更小且对干扰的敏感性更低
4. Micro-mechanical capacitive acceleration sensor for measuring the acceleration of an object in one or more directions is made from a monolithic silicon crystal and is smaller and less sensitive to interference than existing art [P] . 德国专利： DE10111149A1 . 2002-09-26

机译：用于测量物体在一个或多个方向上的加速度的微机械电容式加速度传感器由整体式硅晶体制成，并且比现有技术更小且对干扰的敏感性更低
5. Micromechanical component manufacturing method e.g. for capacitive acceleration sensor, has geometric design parameters corrected within local regions of micromechanical component to ensure constant etching tolerances [P] . 德国专利： DE19906893A1 . 2000-08-24

机译：微机械零件的制造方法用于电容式加速度传感器，其几何设计参数在微机械组件的局部区域内已校正，以确保恒定的蚀刻公差