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一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器

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本发明公开了一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,属于微机电系统领域，包括第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源；第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定；第二固支梁两端分别通过固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定；上耦合电极Ⅰ和上耦合电极Ⅱ固定在第一固支梁的下表面两端；下耦合电极Ⅰ和下耦合电极Ⅱ固定在第二固支梁的上表面两端；第一固支梁的下表面和第二固支梁的上表面之间施加耦合电压源实现相对应的静电耦合连接；固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ分别与驱动电压源相连接；固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ固定在第二固支梁的下方,该发明结构简单，驱动方式易于调节，无需进行任何的结构优化，具有工艺简单，构型稳定易于加工等优点，因而可广泛应用在各个方面。

著录项

  • 公开/公告号CN111351553B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 大连理工大学;

    申请/专利号CN202010186923.6

  • 发明设计人 吕明;赵剑;刘蓬勃;

    申请日2020-03-17

  • 分类号G01G3/16(20060101);G01N5/00(20060101);

  • 代理机构21212 大连东方专利代理有限责任公司;

  • 代理人姜威威;李洪福

  • 地址 116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号

  • 入库时间 2022-08-23 12:14:21

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