公开/公告号CN109186656B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 北京特种机械研究所;
申请/专利号CN201811032596.8
申请日2018-09-05
分类号G01D18/00(20060101);
代理机构11011 中国兵器工业集团公司专利中心;
代理人王雪芬
地址 100143 北京市海淀区西四环北路149号
入库时间 2022-08-23 12:23:06
机译: 利用电荷泵的生物传感器,一种生物传感器装置,一种生物传感器装置的制造方法以及一种生物材料检测方法,能够使用CMOS工艺技术提供具有高再现性的纳米间隙的FET结构。
机译: 用于检测流体介质特性的传感器装置,特别是用于检测气体压力的传感器装置,具有用于检测特性的传感器元件,尤其是压力传感器;以及具有电路载体的载体单元
机译: 一种用于传感器的传感器元件的密封件的制造方法,该传感器用于检测测量气体空间中的测量气体的至少一种特性