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一种(100)择优取向和高介电常数的锆钛酸铅压电薄膜的制备方法

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一种(100)择优取向和高介电常数的锆钛酸铅压电薄膜的制备方法，属于压电材料薄膜制备领域。制备步骤包括：1)将钛酸四丁酯加入乙酰丙酮里，再加入乙二醇甲醚、乙酸铅、硝酸锆和甲酰胺，并通过酸碱调节剂调节溶液PH，制备化学式为Pb1.25(ZryTi1‑y)O3和Pb1.10(ZryTi1‑y)O3的两种锆钛酸铅前驱体溶液；2)将两种锆钛酸铅前驱体溶液按照m/n的层数比循环沉积在衬底上，重复沉积至所需厚度，热处理后得到具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜。采用本发明方法制备的锆钛酸铅压电薄膜具有(100)晶向取向度高、介电与铁电性能优。

著录项

公开/公告号CN110092662B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-23

原文格式PDF
申请/专利权人大连瑞林数字印刷技术有限公司;大连思普乐信息材料有限公司;
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申请/专利号CN201910430894.0
发明设计人韩梅;王力成;
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申请日2019-05-22
分类号C04B35/491(20060101);C04B35/622(20060101);
代理机构21102 辽宁鸿文知识产权代理有限公司;
代理人杨植
地址 116085 辽宁省大连市高新区广贤路131号4-410
入库时间 2022-08-23 12:51:05

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1. 一种(100)择优取向和高介电常数的锆钛酸铅压电薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN110092662B . 2021.11.23
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