公开/公告号CN111613903B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏泰科微通讯科技有限公司;
申请/专利号CN202010549833.9
申请日2020-06-16
分类号H01Q19/185(20060101);H01Q21/30(20060101);H01Q1/36(20060101);H01Q1/52(20060101);
代理机构32280 常州市权航专利代理有限公司;
代理人刘洋
地址 212300 江苏省镇江市丹阳市开发区前艾振前路99号
入库时间 2022-08-23 12:59:33
机译: 一种沉积速率高,压应力低,膜稳定性高,收缩率低的原硅酸四乙酯厚膜的沉积方法
机译: 一种低low含量和高纯四氯化-的四氯化锆的制备方法。
机译: 一种低low含量和高纯四氯化-的四氯化锆的制备方法。