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公开/公告号CN108630765B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社东芝;
申请/专利号CN201710794498.7
发明设计人 芝崎聪一郎;盐川美雪;中川直之;山本和重;保西祐弥;新井本武士;
申请日2017-09-06
分类号H01L31/0224(20060101);H01L31/072(20120101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人陈建全
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 13:02:34
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