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用于使用多个光束来写可成像材料的方法和装置

摘要

一种用于使用多个光束来写可成像材料的方法,包括:准备后续图案,每个图案具有Y个N像素位置的行,所述后续图案包括第一和第二图案;其中第一图案和第二图案在由像素位置的O列和Y行组成的重叠区域中与彼此重叠;对所述第一图案的每行i选择Mi1个像素位置;对所述第二图案的每行i选择Mi2个像素位置;通过相对于所述可成像材料在快速扫描方向上移动N个光束,对每行i同时写所述Mi1个选定像素位置;以及接着相对于所述可成像材料在慢速扫描方向上将所述N个光束移过(N‑O)个像素位置;通过相对于所述可成像材料在快速扫描方向上移动N个光束,对每行i同时写Mi2个选定像素位置;其中所述选择使得某些条件被满足。

著录项

  • 公开/公告号CN110914761B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 赛康印前公众有限公司;

    申请/专利号CN201880046599.9

  • 申请日2018-06-07

  • 分类号G03F7/20(20060101);B41C1/05(20060101);G03F7/24(20060101);

  • 代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;

  • 代理人陆建萍;杨明钊

  • 地址 比利时伊珀尔

  • 入库时间 2022-08-23 13:03:58

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