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在闭环操作中微机电系统反射镜的稳定性

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摘要

本发明提供了用于去除抖动并稳定扭转铰链装置的反馈系统的设备和方法。将来自光束16的光源朝旋转反射镜10的反射表面引导到感光介质20上。传感器22a、22b将运动传感信号提供给控制驱动机构12的监视和控制电路26。通过在振动装置10或者施加于所述设备的驱动扭矩18中提供不对称性来实现稳定性，以便除了所述旋转运动外，又引入微小的横向运动。

著录项

  • 公开/公告号CN100480773C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-04-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德克萨斯仪器股份有限公司;

    申请/专利号CN200580022337.1

  • 发明设计人 A·M·特纳;M·W·黑顿;

    申请日2005-06-29

  • 分类号G02B26/00(20060101);

  • 代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人赵蓉民;薛峰

  • 地址 美国德克萨斯州

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-04-22

    授权

    授权

  • 2007-08-08

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-06-13

    公开

    公开

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