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用于形成有机叠层膜的涂液、场效应晶体管的制造方法、及场效应晶体管

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摘要

本发明的场效应晶体管的制造方法包括：涂敷含有溶剂(13)和溶解于溶剂(13)的第一及第二有机分子(11)及(12)的涂液(20)的工序；和通过除去涂敷后的涂液(20)中的溶剂(13)，形成以第一有机分子(11)为主成分的第一层、和与第一层邻接且以第二有机分子(12)为主成分的第二层的工序。第一有机分子(11)是半导体材料或半导体材料的前体，第二有机分子(12)是绝缘体材料或绝缘体材料的前体。第一有机分子(11)和第二有机分子(12)相互没有相容性。

著录项

公开/公告号CN100499047C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-06-10

原文格式PDF
申请/专利权人松下电器产业株式会社;
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申请/专利号CN200580014055.7
发明设计人中川彻;
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申请日2005-08-18
分类号H01L21/336(20060101);H01L21/368(20060101);H01L29/786(20060101);H01L51/05(20060101);H01L21/312(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李贵亮
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:02:25

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-08-02

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 授权公告日:20090610 终止日期:20180818 申请日:20050818

专利权的终止
2009-06-10

授权

授权
2009-06-10

授权

授权
2007-08-29

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-08-29

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-04-18

公开

公开
2007-04-18

公开

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