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公开/公告号CN111279268B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201880069926.2
发明设计人 周子理;G·范德祖克;N·潘迪;M·G·M·M·范卡拉埃吉;M·H·M·范维尔特;A·齐亚托马斯;S·塔拉布林;H·D·博斯;
申请日2018-10-10
分类号G03F7/20(20060101);G03F1/24(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 13:22:48
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