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一种基于纳米天线的马赫-曾德尔干涉仪

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摘要

本发明公开了一种基于纳米天线的马赫‑曾德尔干涉仪。该干涉仪包括下基板(1)、调制器(2)、双折射材料(3)、上基板(4)；所述调制器(2)位于下基板(1)上；所述双折射材料(3)填充于下基板(1)与上基板(4)之间，并包裹调制器(2)；所述调制器(2)的移相器(2‑1)为亚波长纳米天线(2‑2)阵列；光在通过纳米天线(2‑2)时，发生米氏共振，具有高前向散射率的同时获得相位延迟，该相位延迟量由双折射材料的折射率控制；通过调制所述双折射材料的折射率，实现干涉仪的输出强度调制。本发明相较于传统的马赫‑曾德尔干涉仪，调制效率更高，工作速度更快，且与CMOS工艺兼容，有利于器件的集成并节约成本。

著录项

  • 公开/公告号CN112859477B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN202110229598.1

  • 发明设计人 杨可扬;夏军;

    申请日2021-03-02

  • 分类号G02F1/21(20060101);G02F1/313(20060101);G02F1/13363(20060101);

  • 代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人沈廉

  • 地址 210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

  • 入库时间 2022-08-23 13:23:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-05

    授权

    发明专利权授予

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