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放射线固化性组合物、其保存方法、固化膜形成方法、图案形成方法、图案使用方法、电子元件及光波导

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摘要

本发明提供了一种放射线固化性组合物、其保存方法、固化膜形成方法、图案形成方法、图案使用方法、电子元件及光波导。本发明的放射线固化性组合物含有(a)成分：硅氧烷树脂、(b)成分：光酸发生剂或光碱发生剂、(c)成分：能够溶解(a)成分的溶剂以及(d)成分：固化促进催化剂。

著录项

  • 公开/公告号CN100510961C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-07-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日立化成工业株式会社;

    申请/专利号CN200480000498.6

  • 发明设计人 樱井治彰;阿部浩一;

    申请日2004-10-07

  • 分类号G03F7/075(20060101);G03F7/004(20060101);

  • 代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人钟晶

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/075 授权公告日:20090708 终止日期:20131007 申请日:20041007

    专利权的终止

  • 2009-07-08

    授权

    授权

  • 2006-01-11

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-11-16

    公开

    公开

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