公开/公告号CN112925363B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-17
原文格式PDF
申请/专利权人 上海北分科技股份有限公司;
申请/专利号CN201911234766.5
申请日2019-12-05
分类号G05D23/24;G01K11/00;
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人倪静
地址 201202 上海市浦东新区川图路33号2幢
入库时间 2022-08-23 13:39:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-17
授权
发明专利权授予
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法
机译: 电影摄影机