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使用预先制程控制机架的制程工具的缺陷检测及其控制的方法及装置

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摘要

一种在预先制程控制(APC)机架上进行缺陷检测的方法及装置。第一接口接收制程工具上与处理工件有关的操作状态数据。状态数据从第一接口送至缺陷检测单元。缺陷检测单元根据状态数据判定制程工具是否存在缺陷状况。根据存在的缺陷状况，对制程工具执行预定的动作。根据一个实施例，预定的动作是关停制程工具以防止再生产出有缺陷的晶圆。

著录项

公开/公告号CN100520651C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-07-29

原文格式PDF
申请/专利权人先进微装置公司;
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申请/专利号CN01814522.1
发明设计人 E·小科斯;Q·王;T·J·赖利;
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申请日2001-07-03
分类号G05B19/418(20060101);
代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人戈泊;程伟
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:02:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-07-29

授权

授权
2003-12-17

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-10-08

公开

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