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获得大晶粒高质量钙钛矿薄膜的后期处理方法及其应用

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本发明属于光电器件技术领域，公开了一种获得大晶粒高质量钙钛矿薄膜的后期处理方法及其应用。钙钛矿薄膜的后期处理工艺采用混合溶剂蒸汽辅助的梯度退火工艺，具体过程为：首先，进行稍低温度的热退火；然后，进行混合溶剂蒸汽辅助热退火；最后，进行稍高温度的热退火。进而制备得到大晶粒高质量钙钛矿薄膜。本发明的钙钛矿薄膜的制备工艺简单，成本低，重复性好，实用性强，适合大面积薄膜以及大规模批量化处理。

著录项

公开/公告号CN109860403B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-19

原文格式PDF
申请/专利权人西南石油大学;
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申请/专利号CN201910283015.6
发明设计人黄跃龙;田柳文;章文峰;于华;
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申请日2019-04-10
分类号H01L51/48;H01L51/00;H01L51/42;
代理机构西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人俞晓明
地址 610500 四川省成都市新都区新都大道8号
入库时间 2022-09-06 00:36:03

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