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一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法

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本发明公开了一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，包括2～8%重量份有机胺，25～70%重量份质子性有机溶剂，25～70%重量份非质子性有机溶剂，0.3～3%重量份添加剂，0.1～0.5%重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100%。制备方法包括：S1：加入非质子性有机溶剂；S2：不断搅拌，加入质子性有机溶剂；S3：不断搅拌，加入有机胺，并控制温度在40℃以内；S4：不断搅拌，加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。本发明剥离性能好，有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。

著录项

公开/公告号CN114280901B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-22

原文格式PDF
申请/专利权人杭州格林达电子材料股份有限公司;
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申请/专利号CN202210076546.X
发明设计人胡涛;邢攸美;高立江;王小栋;刘永南;徐一航;方伟华;尹云舰;蒋哲男;施珂;
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申请日2022-01-24
分类号G03F7/42;G02F1/13;
代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人奚丽萍
地址 311228 浙江省杭州市萧山区红十五路9936号
入库时间 2022-09-06 00:36:08

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