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双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法及装置

摘要

本发明双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法及装置,能较好解决测量过程中的测量精度差的问题,方法是:将激光器发出的一对正交双频激光进行分光分成反射光和透射光;反射光和透射光两路光中有一路经过改变偏振角后通过双折射被测样品测量点,然后折返再通过所述被测样品测量点,使光束中两个频率的偏振分量的相位发生不同的延迟,引起相位变化;然后使两路光在分别经过检偏器合成后,分别转化为具有不同相位差的参考拍频信号和测量拍频信号;至少获得两次相位差,就可计算出测量点相位延迟量及快轴方向;本发明方法和装置使两参数的测量变得简单并消除了原理误差和系统误差。

著录项

  • 公开/公告号CN100529715C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-08-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京市普锐科创科技有限责任公司;

    申请/专利号CN200610089082.7

  • 申请日2006-08-02

  • 分类号G01M11/02(20060101);

  • 代理机构11129 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人张涛

  • 地址 100085 北京市海淀区上地开拓路7号先锋大厦1202

  • 入库时间 2022-08-23 09:03:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-09-28

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 授权公告日:20090819 终止日期:20150802 申请日:20060802

    专利权的终止

  • 2009-08-19

    授权

    授权

  • 2008-04-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-06

    公开

    公开

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